AZ - Trubkové pece s osmi zónami

Stáhnout brožuru Produktový list PDF
Close

Jazyk:

AZ 13/32/360AZ 13/110/1000 s vakuovým systémem

AZ je osmizónová trubková pec pro řízené teplotní profily. Tyto zóny mohou být použity pro generování teplotních profilů podél ohřáté délky pece.


S osmi zónami, silnou izolací a vysoce symetrickým navíjením topných prvků v celém AZ peci se dosáhne uniformity lepší než ± 5 ° C. Klíčovou výhodou osmi jednotlivě řízených zón je rozšíření uniformity uvnitř pece. Navíc může být teplotní profil přesně řízen pro lineární zvýšení, vrcholy nebo jiné uživatelsky definované profily.

Jeden proces, který je vhodný pro trubkovou pec AZ, je "Chemická depozice z plynné fáze" (VCP), protože v peci může být vytvořen teplotní gradient pro odpařování prekurzorového materiálu v koncové zóně vysoké teploty a sublimace páry na substrát v koncové zóně chladnější teploty. Všechny zóny jsou individuálně řízeny a monitorovány pomocí termočlánků.

Příklady aplikací

odpařování, růst krystalů, sublimace, sušení, syntéza, žíhání

Standardní výbava

  • Similar construction to FHA / FHC tube furnaces
  • Eight-zone control for variable heating profiles
  • Gradients, linear increase/decrease etc. of temperature along the heated length
  • Extended uniform temperature distribution
  • Short heating and cooling rates
  • Automatic operation
  • Záznam dat pro řízení kvality
  • Retransmission of setpoint

Možnosti (uveďte při objednávce)

  • Dostupná je široká řada digitálních regulátorů, multi segmentových programátorů a ústředen. Tyto pece mohou být vybaveny komunikačním rozhraním RS232, RS485 nebo Ethernetem.
  • Ochrana proti přehřátí (doporučujeme zejména pro ochranu vzácných materiálů a při bezobslužném provozu)
  • K dispozici je široký výběr pracovních trubek různých průměrů a z různých materiálů: např. z křemene, keramiky nebo kovu
  • 'L' stojan pro vertikální použití 
  • Izolační záslepky a radiační štít zajišťují nízké tepelné ztráty a zlepšují uniformitu teploty
  • Modifikovaná atmosféra a vakuové sestavy jsou k dispozici
  • Vakuová zařízení s volbou rotačního čerpadla nebo turbomolekulárního čerpadla jsou k dispozici pro pece s vnitřním průměrem trubek 60 mm a výše
  • Complete automation by Siemens SPS control with touch panel and mass flow controller for the gases on request
  • Jiné průměry a vyhřívané délky na vyžádání

Technické údaje


View inside
  1. ceramic fibre insulation
  2. outer frame
  3. eight thermocouples for control
  4. usable volume

The ceramic fibre insulation is constructed in multiple layers and assembled with great care to ensure no gaps are present between each of the layers. The insulation layers are arranged with a specific overlap to provide excellent temperature uniformity inside the furnace.

The control module is very compact and built into the support frame of the furnace. A touch panel interface provides user-friendly and intuitive control of the furnace operating parameters.

No water cooling is necessary as the housing is spaced from the insulation such that it is cooled by convective cooling. The only instances that require water cooling are for use with cooled work tube flanges, i. e. to assemble a vacuum pumping unit.

Technické změny a omyly vyhrazeny